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EDI系統

超純水EDI系統

一:超純水簡介
超純水最初是美國科技界為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水,如今超純水已在生物、醫藥、汽車等領域廣泛應用。這種水中除了水分子(H20)外,幾乎沒有什么雜質,更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物,當然也沒有人體所需的礦物質微量元素。超純水,是一般工藝很難達到的程度,如水的電阻率大于18MΩ*cm,接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。目前,制備超純水的方法通常采用反滲透,去離子或電去離子(EDI)等工藝。
二:應用領域
•化工材料的生產和加工過程所用的溶劑及清洗過程
•超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水
•實驗室和中試車間用超純水
•半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水
•石英、硅材料生產、加工、提純
•高純墨水、傳真打印機中的噴墨、納米墨水
•汽車、家電表面拋光處理
•光電子產品; 
•日用化妝品生產用水
•其他高科技精微產品;
三:電子行業超純水常規制備工藝
1)采用離子交換方式,其流程如下:
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器(阻垢劑)→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點
2)采用反滲透加離子交換方式,其流程如下:
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器(阻垢劑)→精密過濾器→反滲透機→陰陽樹脂混床→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點
3)采用反滲透加EDI方式,其流程如下:
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器(阻垢劑)→精密過濾器→反滲透機→EDI系統→拋光混床→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點
四:超純水行業相關水質標準
 
中國國家電子超純水規格GB/T1146.1-1997
級別 EW-Ⅰ EW-Ⅱ EW-Ⅲ EW-Ⅳ
電阻率
MΩ·cm(25℃)
18
(95%時間)
不低于17
15
(95%時間)
不低于13
12.0 0.5
全硅 最大值ug/L 2 10 50 1000
>1um微粒數,最大值 個/ml 0.1 5 10 500
細菌數,最大值,個/mL 0.01 0.1 10 100
銅,最大值 ug/L 0.2 1 2 500
鋅,最大值 ug/L 0.2 1 2 500
鎳,最大值 ug/L 0.1 1 2 500
鈉,最大值 ug/L 0.5 2 5 1000
鉀,最大值 ug/L 0.5 2 5 500
氯,最大值 ug/L 1 1 10 1000
硝酸根,最大值 ug/L 1 1 10 500
磷酸根,最大值 ug/L 1 1 10 500
硫酸根,最大值 ug/L 1 1 10 500
總有機碳,最大值 ug/L 20 100 200 1000
美國純水水質標準(美國計量測試學會ASTM純水水質標準,1983)

序號
水質項目 單位 E-Ⅰ E-Ⅱ E-Ⅲ E-Ⅳ
1 電阻率,25℃ MΩ.cm 18 15 2 0.5
2 二氧化硅(全) µg/l 5 10 100 1000
3 微粒(粒徑≥1μm) 個/ml 2 5 100 500
4 微生物 個/ml 1 10 50 100
5 有機物TOC µg/l 50 200 1000 5000
6 銅Cu µg/l 2 10 100 1000
7 氯Cl µg/l 2 10 100 500
8 鉀K µg/l 1 10 200 1000
9 鈉Na µg/l 1 10 200 1000
10 鋅Zn µg/l 5 20 200 500
11 總固體 µg/l 10 50 500 2000
 美國半導體工業用純水指標

項 目
Ⅰ級 Ⅱ級 Ⅲ級 Ⅳ級
殘渣,mg/L 0.1 0.3 0.3 0.5
TOC,mg/L 0.02 0.05 0.10 0.40
顆粒,粒/L 500 1000 2500 5000
細菌數,個100mL 0 6 10 50
活性硅SiO2,μg/L 3 5 10 40
電阻率MΩ·cm 18.3 17.9 17.5 17.0
陽離子,μg/L 0.2 2.0 5.0 *
鋁 Al3+ 0.2 2.0 5.0 *
銨 NH4+ 0.3 0.3 0.5 *
鉻 Cr6+ 0.02 0.1 0.5 *
鐵 Fe 3+ 0.02 0.1 0.2 *
銅 Cu 2+ 0.02 0.1 0.5 *
錳 Mn 2+ 0.05 0.5 1.0 *
鉀 K + 0.1 0.3 1.0 4.0
鈉 Na + 0.05 0.2 1.0 5.0
鋅 Zn 2+ 0.03 0.1 0.5 *
陰離子,μg/L 0.1 0.1 0.3 *
溴 Br - 0.1 0.1 0.3 *
氯 Cl - 0.05 0.2 0.8 *
亞硝酸根 NO2- 0.05 0.1 0.3 *
硝酸根 NO3- 0.1 0.1 0.5 *
磷酸根 PO43- 0.2 0.2 0.3 *
硫酸根 SO42- 0.05 0.3 1.0 *
化學指標單位:μg/L
*此值未定。